دانلود: ترجمه مقاله بیان مشخصات دو میکروفون فرکانس پایین جدید برای سنسورهای گازی فوتوصوتی ترجمه مقاله بیان مشخصات دو میکروفون فرکانس پایین جدید برای سنسورهای گازی فوتوصوتی |
دسته بندی | پژوهش |
فرمت فایل | docx |
حجم فایل | 1223 کیلو بایت |
تعداد صفحات فایل | 3 |
ترجمه مقاله بیان مشخصات دو میکروفون فرکانس-پایین جدید برای سنسورهای گازی فوتوصوتی
چکیده
مفهوم فوتوصوتیبرای اندازهگیریغلظت گازبخوبی براساسمونتاژ ماکرومکانیکی اثبات شده است. با اینحال،فوتوصوت مبتنی بر میکروسیستممیتواندازابعاد کوچکتر و هزینهکمتراستفاده کند، اما برای رقابت نیاز به میکروفون با وضوح بالادارد. در اینجا، توصیف مشخصاتدومیکروفونبا فرکانسکم اختصاصی ارائه میشود. هر دومیکروفونبافرایندریختهگری (ساخت)MPW یکسان ساختهشدهاند، اما ازگامپسپردازشاضافی کهتهویه شیارهایباریک را از طریقغشاهایضخامتچندگانه کهحساسیتمیکروفونرا افزایش میدهداستفاده شده است. نتایج اولیهحساسیت را نشان میدهدکه برایسنسورهایگاز فوتوصوتی با وضوح بالا کافی است.
واژگان کلیدی
MEMS، سنسور گازی فوتوصوتی، توصیف مشخصات، میکروفون،MPW.
- 1. مقدمه
استفاده از سنسورهای گازی برای آگاهی از سطح غلظت آنالیتگاز (یعنی، انواع مورد نظر) با استفاده ازاثر فوتوصوتی شناخته شده است [1]. سیستم سنسور گازیفوتوصوتی (شکل 1)، هنگامیکه نورآنالیتگازی را تحریک میکند، انرژینوریدامنهمنبع نورمدوله شدهرا به انرژیصوتیتبدیل میکند